Vorrichtung zur Prüfung von Mikrostrukturierungsqualität

Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Prüfung von Mikrostrukturierungsqualität einer Oberfläche (2) bei bekannter Zielmikrostrukturierungsqualität, umfassend eine Strahlungsquelle (1) für kohärente Strahlung, einen ersten Detektor (10) und einen zweiten Detektor (4) und eine Maskierung, die so eingerichtet und zueinander angeordnet sind, dass (a) von der Strahlungsquelle (1) auf eine Oberfläche (2), die mit einer Mikrostrukturierung in Zielqualität versehen ist, ausgesendete Strahlung ein Beugungsmuster ergibt, (b) das Beugungsmaximum der Ordnung n des Beugungsmusters ohne die Maskierung auf den ersten Detektor (10) fallen würde, (c) die Maskierung >= 80% der Strahlungsquanten, die dem Beugungsmaximum der Ordnung n zuzuordnen sind, am Auftreffen auf den Detektor hindert und (d) das Beugungsmaximum der Ordnung a des Beugungsmusters auf den zweiten Detektor (4) fällt,; wobei n Ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 und 10 und a Ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 und 10 und a <> n ist. Beschrieben werden auch entsprechende Verfahren sowie Verwendungen.