Bearbeitungskopf und Verfahren zur Laserbearbeitung

Es wird ein Bearbeitungskopf zur Laserbearbeitung eines Werkstücks bereitgestellt, mit einer ersten Schnittstelle für eine Bearbeitungslaserquelle zum Emittieren eines Bearbeitungslaserstrahls; einer zweiten Schnittstelle für eine Beleuchtungslichtquelle zum Emittieren eines linear polarisierten Beleuchtungslichtstrahls; einer Austrittsöffnung für den Bearbeitungslaserstrahl und den Beleuchtungslichtstrahl; einer dritten Schnittstelle für eine Detektoreinrichtung zum Detektieren des vom Werkstück reflektierten Beleuchtungslichtstrahls; und einer Führungsoptik zum zumindest teilweise koaxialen Führen des emittierten Beleuchtungslichtstrahls durch die Austrittsöffnung und des vom Werkstück durch die Austrittsöffnung reflektierten Beleuchtungslichtstrahls zur dritten Schnittstelle. Die Führungsoptik weist einen polarisierenden Strahlteiler zum Führen zumindest eines Teils des emittierten linear polarisierten Beleuchtungslichtstrahls in Richtung der Austrittsöffnung; und eine zwischen dem polarisierenden Strahlteiler und der Austrittsöffnung angeordnete Verzögerungsplatte auf. Es wird ferner ein Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks bereitgestellt.