Verfahren zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von mittels Gaslagerelementen gefuehrten Tischen und Verwendung von Luftlagerelementen mit Dichtsystemen fuer in Umgebungsatmosphaere gefuehrten Tischsystemen

(A1) Es wird ein Verfahren zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von mittels Gaslagerelementen gefuehrten Tischen mit interferometrischer Messvorrichtung vorgeschlagen, wobei die Tragkraft des jeweiligen Lagerelements durch Einspeisung von komprimiertem Gas zur Bildung eines tragenden Druckpolsters zwischen Gleitflaeche und einer Gegenflaeche erzeugt wird. Das aus der Gleitflaeche austretende Gas wird ueber gezielte Beeinflussung der Stroemungsverhaeltnisse im die Gleitflaeche umgebenden Bereich aus der unmittelbaren Umgebung des jeweiligen Lagerelements weggefuehrt.

DE 102009019773 A1 UPAB: 20101112 NOVELTY - The method involves generating bearing force of gas bearing elements (1) through supplying of compressed gas for formation of a pressurized cushion between a sliding surface (4) and a counter surface (7). The gas is guided-away from the direct surrounding of the bearing elements over selective influence of flow conditions in an area surrounding the sliding surface. A sealing system comprising a channel (9) and a sealing surface (10) is arranged around the sliding surface, where the sealing surface is connected to the channel. USE - Method for improving positioning accuracy of a table having an interferometric measuring device. ADVANTAGE - The method removes the gas from the direct surrounding of the bearing elements over selective influence of flow conditions in the area surrounding the sliding surface, thus reducing the influence of the gas to the interferometric measuring device, and hence increasing measuring accuracy of the measuring device.