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Patent
Title

Metallisches Fluorid in Pulver- oder Granulatform, Verfahren zu seiner Herstellung und den Nachweis der Reinheit

Other Title
Metal fluoride powder or granulate, for making film or film system on optical element in ultraviolet wavelength range, is produced by purifying precursor to limit luminescence in predetermined wavelength range.
Abstract
Die Erfindung betrifft metallische Fluoride in Pulver- oder Granulatform sowie Verfahren zur Herstellung und den Nachweis der Reinheit solcher Pulver. Diese metallischen Fluoride werden fuer optische Elemente, insbesondere im kurzen ultravioletten Wellenlaengenbereich, eingesetzt. Mit der Erfindung sollen die optischen Eigenschaften verbessert und insbesondere lumineszenzbedingte Stoerlichteinfluesse zumindest reduziert werden. Die fuer die Schichten eingesetzten metallischen Fluoride sollen dabei erfindungsgemaess einen Anteil eines zusaetzlichen Elementes, das innerhalb mindestens eines vorgegebenen Wellenlaengenbereiches elektromagnetische Strahlung luminesziert, der ? 10 Masse-ppm ist, enthalten. Bei diesen Elementen handelt es sich im Wesentlichen um Uebergangsmetalle und/oder Seltenerdmetalle. Bei der Herstellung solcher metallischen Fluoride koennen diese vor der letztendlichen Schichtbildung auf optischen Elementen entsprechend gereinigt und so der unerwuenschte Anteil solcher Elemente reduziert werden. Vor der Herstellung der optischen Elemente sollen die metallischen Fluoride mit elektromagnetischer Strahlung mit vorgebbarer Wellenlaenge bestrahlt und die Intensitaet gegebenenfalls auftretender Lumineszenz mit einem optischen Detektor bestimmt werden.

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WO2003078345 A UPAB: 20031027 NOVELTY - A metal fluoride (I), in powder or granulate form, for making films or film systems on optical elements in the wavelength range 100-400 nm, has content of additional element(s) (II) luminescing within predetermined electromagnetic radiation wavelength range(s) kept at a concentration of at most 10 ppm. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for: (1) production of the metal fluoride (I) from a precursor by reducing the fraction of or removing (II) by purification; (2) process for determining the purity of (I) by irradiation with electromagnetic radiation with predetermined wavelength and determining the intensity of luminescence with optical detector(s); and (3) apparatus for this determination, comprising a radiation source and optical detector(s). USE - The metal fluoride powder or granulate is used for producing films or film systems on optical elements (all claimed), especially optical interference films, and alternating film systems, e.g. reflecting elements with alternating magnesium fluoride/lanthanum fluoride films. ADVANTAGE - Purifying the metal fluoride improves the optical properties and especially reduces interference caused by luminescence.
Inventor(s)
Heber, J.
Kaiser, N.
Muehlig, C.
Triebel, W.
Link to:
Espacenet
Patent Number
2002-10213089
Publication Date
2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
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