SAW-Bauelement und Verfahren zu dessen Betrieb und Verwendung

Die Erfindung betrifft ein SAW-Bauelement (1) mit einem Substrat (2) und zumindest einer auf dem Substrat angeordneten piezoelektrischen Schicht (3) und zumindest einem auf der piezoelektrischen Schicht (3) angeordneten Wandler (4), wobei das Substrat (2) und die piezoelektrische Schicht (3) jeweils ein Material enthalten oder daraus bestehen, welches ein wirteliges Kristallsystem bildet und das Substrat (2) zumindest eine erste Seite (21) aufweist, welche in der r-Ebene (1102) orientiert ist, und die piezoelektrische Schicht (3) zumindest eine erste Seite (31) aufweist, welche in der a-Ebene (1120) orientiert ist, wobei die erste Seite (21) des Substrates (2) und die erste Seite (31) der piezoelektrischen Schicht (3) in etwa parallel zueinander angeordnet sind und der Wandler (4) zumindest eine Metallschicht enthält oder daraus besteht, welche eine Mehrzahl von Kontaktfingern (45) umfasst, deren Länge (1) jeweils größer ist als die Breite (b) und deren Länge (1) mit der c-Achse der piezoelektrischen Schicht (3) einen Winkel von etwa 40° bis etwa 80° einschließt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb eines solchen SAW-Bauelementes (1) und dessen Verwendung.

The invention relates to a SAW device (1) comprising a substrate (2) and at least one piezoelectric layer (3), arranged on the substrate, and at least one transducer (4), arranged on the piezoelectric layer (3), wherein the substrate (2) and the piezoelectric layer (3) each contain or consist of a material which forms a whorled crystal system and the substrate (2) has at least a first side (21), which is oriented in the r plane (1102), and the piezoelectric layer (3) has at least a first side (31), which is oriented in the a plane (1120), wherein the first side (21) of the substrate (2) and the first side (31) of the piezoelectric layer (3) are arranged approximately parallel to one another and the transducer (4) contains or consists of at least one metal layer which comprises a plurality of contact fingers (45) of which the length (l) is in each case greater than the width (b) and of which the longitudinal direction (l) forms an angle φ of approximately 40° to approximately 80° with the c axis of the piezoelectric layer (3). The invention also relates to a method for the operation of such a SAW device (1) and to the use thereof.