Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit zueinander beweglichen, im Mikrometerbereich beabstandeten Bauteilen, bereitgestellte Vorrichtung und Verwendungen hiervon

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit mindestens zwei relativ zueinander beweglichen und zumindest bereichsweise im Mikrometerabstand beabstandeten Bauteilen bereitgestellt. Das Verfahren basiert darauf, eine Seite von mindestens einem der beiden Bauteile mit einem Energierichtungsgeber auszustatten, der aus einem durch Ultraschallschweißen aufschmelzbaren Kunststoff besteht und die beiden Bauteils so anzuordnen, dass der Energierichtungsgeber einer Stelle des anderen Bauteils gegenüberliegt, die einen höheren Schmelzpunkt als der Energierichtungsgeber aufweist. Nach Zusammenpressen der beiden Bauteile und Einwirken von Ultraschall wird der Energierichtungsgeber zunächst selektiv geschmolzen und dann erstarren gelassen, wobei die beiden Bauteile an der Stelle des Energierichtungsgebers relativ beweglich zueinander bleiben bzw. sind. Verwendungen der bereitgestellten Vorrichtung werden vorgeschlagen.