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Title
Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids
Date Issued
2020
Author(s)
Patent No
102019208867
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids, umfassend ein Gehäuse (1), einen mit dem Gehäuse (1) verbundenen Sensorträger (2), mindestens einen Drucksensor (3) und zumindest eine Komponente (4) einer elektrischen Schaltung, wobei der Sensorträger (2) einen ersten Bereich (7), der zur Aufnahme des Fluids vorgesehen und in dem der mindestens eine Drucksensor (3) angeordnet ist, räumlich von einem zweiten Bereich (8), in dem die zumindest eine Komponente (4) der elektrischen Schaltung angeordnet ist, trennt und Durchkontaktierungen (9) zwischen einer dem ersten Bereich (7) zugewandten ersten Oberfläche des Sensorträgers (2) und einer dem zweiten Bereich (8) zugewandten zweiten Oberfläche des Sensorträgers (2) aufweist, wobei die zumindest eine Komponente (4) der elektrischen Schaltung über die Durchkontaktierungen (9) elektrisch mit dem mindestens einen Drucksensor (3) gekoppelt ist, und wobei der mindestens eine Drucksensor (3) mittels Flip-Chip-Montage auf der ersten Oberfläche des Sensorträgers (2) montiert ist.
Language
de
Patenprio
DE 102019208867 A1: 20190618