Vorrichtung zur Erzeugung eines projizierten Objektgitters

Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines projizierten Objektgitters fuer die Topographiemessung von Prueflingsoberflaechen gemaess dem Projektions-Moire-Verfahren verfuegt ueber einen Laser (6) ein vom Laserlicht (5) beaufschlagtes Zweistrahl-Interferometer. Das Interferometer verfuegt ueber einen ersten feststehenden sphaerischen Spiegel (14) und einen zweiten verstellbaren sphaerischen Spiegel (17). Durch eine transversale Verschiebung des zweiten sphaerischen Spiegels (17) kann die Gitterkonstante des Objektgitters (1) verstellt werden. Eine axiale Verschiebung des sphaerischen Spiegels (17) gestattet eine Einstellung der Phasenlage des Objektgitters (1).