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Fraunhofer-Gesellschaft
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Title

Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung und Rod-Array-Anordnung

Date Issued
2017
Author(s)
Bartzsch, Hagen orcid-logo
Frach, Peter
Barth, Stephan
Eng, Lukas
Derenko, Susan
Patent No
102015117834
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung umfassend folgende Schritte: Ausbilden eines Schichtsystems auf einem starren Substrat, indem vom Substrat aufwärts betrachtet folgende Schichten nacheinander abgeschieden werden: eine Opferschicht, eine leitfähige Schicht, eine Aluminium-basierte Schicht; Anodisieren der Aluminium-basierten Schicht in einer Säure derart, dass sich eine poröse Aluminiumoxid-basierte Matrix ausbildet; teilweises Entfernen der Matrix derart, dass ein direkter Kontakt zwischen den Poren und der leitfähigen Schicht entsteht; Befüllen der Poren mit einem Rods bildenden Material; Entfernen der Matrix unter Ausbildung eines Rod-Arrays; Einbetten des Rod-Arrays in ein flexibles Trägermaterial; Ablösen des eingebetteten Rod-Arrays samt leitfähiger Schicht vom Substrat mittels Entfernen der Opferschicht. Zudem wird eine Rod-Array-Anordnung angegeben.
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=102015117834A1
Patenprio
DE 102015117834 A1: 20151020
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