Druck-Sicherheitsschalter

(A1) Die Erfindung betrifft einen Druck-Sicherheitsschalter, umfassend ein Gehaeuse (101; 201) zum Befestigen an einer Kammer derart, dass der Druck innerhalb der Kammer zumindest auf ein Bauteil (104; 202) des Druck-Sicherheitsschalters einwirkt, wobei die Form oder Position des Bauteils (104; 202) in Abhaengigkeit des Kammerdrucks veraenderbar ist. Des Weiteren umfasst der Druck-Sicherheitsschalter mindestens eine Einrichtung (105c; 107; 108; 203; 204; 205), mittels der beruehrungslos erfassbar ist, wenn die Verformung oder Positionsveraenderung des Bauteils (104; 202) einen Sollwert erreicht und mittels der das Betaetigen eines Schaltkontakts oder Erzeugen eines Signals ausloesbar ist, wenn die Verformung oder Positionsveraenderung des Bauteils (104; 202) den Sollwert erreicht.

DE 102008063976 A1 UPAB: 20100712 NOVELTY - The switch (100) has a housing (101) fixed in a vacuum chamber such that pressure within the chamber acts on a compensator pipe (104) and on a flexible membrane. A form or position of the pipe and membrane is changeable in dependence of the pressure. A contactless-detection is made whether deformation or position change of the pipe and the membrane reaches a desired value, using a commercial safety magnet switch (107). The magnet switch actuates a switching contact or produces a signal when the deformation or position change of the pipe and the membrane reaches the value. USE - Pressure safety switch for a vacuum chamber that is utilized for coating substrates. ADVANTAGE - The switch is designed such that electrical components provided downstream to the safety switch are reliably switched at zero voltage while opening the vacuum chamber. The safety switch is suitable to standard-conform for application in safety-relevant functions.