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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Vorrichtung zum tiefenaufgelösten Bestimmen der stofflichen Zusammensetzung einer Probe

Abstract
Bei einer Vorrichtung zum tiefenaufgelösten Bestimmen der stofflichen Zusammensetzung einer Probe (121) aus einem Plasma (142) sind polychromatische Ausgangsstrahlung (106) und Ablationsstrahlung (136) aufgrund zusammenfallender optischer Achsen einer Fokussieroptik (115) mit einer chromatisch dispersiven Abbildungscharakteristik und einer Strahlformoptik (139) in einem Strahlungsabschnitt unmittelbar vor der Probe (121) kollinear überlagert. Mit einem Spektrometer (130) lässt sich durch Bestimmen des Spektralanteiles höchster Intensität des von der Probe (121) rückgeworfenen Anteils der polychromatischen Ausgangsstrahlung (106) und der Spektralkomponenten einer von einem Plasma (142) erzeugten Plasmastrahlung (145) die stoffliche Zusammensetzung der Probe (121) tiefenaufgelöst bestimmen.
Inventor(s)
Carl, Daniel  
Hofmann, Andreas  
Basler, Carl  
Brandenburg, Albrecht  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&FT=D&CC=DE&NR=102016107267A1
Patent Number
102016107267
Publication Date
2017
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
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