Ventillose Mikropumpe

Eine ventillose, mikrominiaturisierbare Pumpe hat eine oszillierende Aktorvorrichtung, die dem zu pumpenden Fluid eine Oszillationsbewegung aufpraegt, und eine anisotrope Struktur, die im Bereich des von der Aktorvorrichtung relativ zu der anisotropen Struktur bewegten Fluids angeordnet ist. Eine derartige ventillose Mikropumpe laesst sich mit an sich bekannten photolithographischen Techniken aus Halbleitermaterialien fertigen.