Device and method for material processing

Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit mindestens einer Strahlquelle elektromagnetischer Strahlung und einer die Strahlung variabel formenden und fokussierenden Strahlformungsoptik. Die emittierte Strahlung weist ein erstes Strahlparameterprodukt auf und die Strahlung in der Bearbeitungszone, in der die Strahlung mit dem Material in Wechselwirkung steht, weist ein zweites Strahlparameterprodukt auf. Eine Stelleinrichtung variiert das zweite Strahlparameterprodukt durch Änderung der Position oder der optischen Eigenschaften mindestens eines optischen Elements, wobei mindestens ein erstes optisches Element der Strahiformungsoptik den Betrag einer Aberration erzeugt und/oder vergrößert und mindestens ein zweites optisches Element der Strahlformungsoptik die betragsmäßig erzeugte oder vergrößerte Aberration durch die Einstellung der Stelleinrichtung durch Änderung der Position oder der optischen Eigenschaften mindestens des ersten oder des zweiten optischen Elements so verändert, dass die Strahlung in der Bearbeitungszone das einzustellende zweite Strahlparameterprodukt aufweist. Weiterhin wird ein entsprechendes Verfahren zur Materialbearbeitung angegeben.