Ablenkspiegel aus Diamant sowie Verfahren zur Herstellung

Ein Ablenkspiegel für optische Strahlung weist ein monolithisches Substrat aus Diamant auf, das an der Vorderseite mit einer reflektierenden Schicht oder Schichtfolge beschichtet und mit einer rückseitigen oder inneren Strukturierung zur Verringerung des Trägheitsmoments versehen ist. Die Strukturierung und/oder die Oberflächenform des Substrats werden bei diesem Ablenkspiegel oder dem Verfahren zu dessen Herstellung so gewählt, dass durch die Beschichtung mit der reflektierenden Schicht oder Schichtfolge verursachte mechanische Spannungen im Substrat zumindest zum Teil ausgeglichen werden und/oder zur Bildung einer planen Vorderseite des Substrats führen. Der Ablenkspiegel weist ein geringes Trägheitsmoment bei hoher mechanischer Steifigkeit und einer für die Anwendung ausreichenden Planität der Oberfläche auf.