Monochromatorspiegel fuer den EUV-Spektralbereich

Monochromatorspiegel fuer den EUV-Spektralbereich mit einer auf ein Substrat aufgebrachten Schichtanordnung, die eine periodische Abfolge von zwei eine Periode mit der Periodendicke d bildenden Einzelschichten unterschiedlicher Materialien als Spacer-Schicht bzw. als Absorber-Schicht aufweist, so dass die Reflektivitaet der zweiten oder einer hoeheren Bragg-Ordnung verwendet wird und wobei d eine Groessenabweichung von hoechstens ± 3% aufweist und wobei das Verhaeltnis der Schichtdicke der Absorber-Schicht zur Periodendicke kleiner ist als das Verhaeltnis von 0,6 zur verwendeten Ordnung der Bragg-Reflexion.

WO2003071317 A UPAB: 20030923 NOVELTY - The monochromator mirror has a layer structure with a number of superimposed individual layers applied to a substrate (S) for providing a Bragg diffractor. A periodic sequence of 2 layers (A,B) of differing materials acting as spacer and absorber layers has a given period thickness (d) with a maximum dimensional deviation of 3 %, the ratio of the absorber layer thickness (d A) to the period thickness being less than 0.8 divided by the employed Bragg reflection order. USE - The monochromator mirror is used for providing monochromatic extreme UV radiation, e.g. for materials science, X-ray astronomy, or X-ray microscopy. ADVANTAGE - Reduced half width of reflections in extreme UV spectral range.