Mikropumpe zur Foerderung kleinster Gasmengen

Zur Foerderung kleinster Gasmengen wird eine Mikropumpe nach dem Prinzip der Waermeausdehnung des Pumpgases beschrieben. Alle beweglichen Pumpen-Teile, der Pumpenraum und der Gasauslass sind in einem Halbleiterchip integriert. Der Gaseinlass und der Heizer sind in einem zweiten Chip integriert, der mit dem ersten Chip, mit Hilfe einer anodischen Verbindungstechnik, verbunden wird. Mit dem angegebenen Verfahren wird die Mikropumpe, mit Hilfe der Methoden der Mikromechanik, hergestellt. Durch den hohen Miniaturisierungsgrad kann die Mikropumpe mit anderen mikromechanisch hergestellten Komponenten oder mit elektronischen Komponenten auf einem Chip integriert werden.