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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Vorrichtung zur Oberflaechenbehandlung von Bauteilen mittels Niederdruckplasma
 
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Patent
Title

Vorrichtung zur Oberflaechenbehandlung von Bauteilen mittels Niederdruckplasma

Other Title
Device for the surface handling of components by means of low-pressure plasma
Inventor(s)
Vissing, K.D.
Baalmann, A.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=4218196A
Patent Number
1992-4218196
Publication Date
1993
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM  
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