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Patent
Title
Verfahren zum Herstellen einer elektrisch leitenden Struktur auf einem temperaturempfindlichen Foliensubstrat
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen strukturierter elektrisch leitfaehiger Schichten auf einem elektrisch isolierenden Substrat. Erfindungsgemaess umfasst das Verfahren die folgenden Schritte: Bereitstellen des elektrisch isolierenden Substrats; Aufbringen und Strukturieren einer in einem Loesemittel geloesten metallorganischen Precursor-Verbindung auf dem Substrat; Entfernen des Loesemittels; Ueberfuehren der metallorganischen Precursor-Verbindung in die elektrisch leitfaehige Metallschicht unter Einwirkung eines Atmosphaerenplasmas.
Inventor(s)
Yacoub-George, E.
God, R.
Patent Number
102008018939
Publication Date
2008
Language
German
IZM-M