Werkstück aus Quarzglas für den Einsatz in einem plasmaunterstützten Fertigungsprozess sowie Verfahren zur Herstellung des Werkstücks

Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks aus Quarzglas, das für den Einsatz in einem plasmaunterstützten Fertigungsprozess eine schmelzpolierte Werkstück-Oberfläche aufweist, umfasst die Verfahrensschritte: (a) Bereitstellen eines Werkstücks aus dem Quarzglas, das mindestens eine durch Schneiden oder spanabhebende Bearbeitung erzeugte Roh-Oberfläche aufweist, und (b) Polieren der Roh-Oberfläche zu der polierten Werkstück-Oberfläche. Um hiervon ausgehend ein Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks anzugeben, das bei vergleichsweise geringem Aufwand für die Oberflächenbearbeitung eine niedrige Partikelbildung zeigt wenn das Werkstück bei der plasmaunterstützten Fertigung eines Halbleiterbauteils eingesetzt wird, wird vorgeschlagen, dass das Polieren der Roh-Oberfläche durch Laserpolieren unter Einsatz von mindestens einem relativ zur Roh-Oberfläche bewegten Laserstrahl erfolgt, wobei eine polierte Werkstück-Oberfläche erzeugt wird, die eine Mikrorauheit und eine Welligkeit aufweist, wobei die mittels Weißlichtinterferometrie bei einer Ortswellenlänge λOim Bereich von 1 µm bis 10 µm gemessene Mikrorauheit eine Flächenrauheit Sa von weniger als 0,5 nm aufweist, und die mittels Weißlichtinterferometer bei einer Ortswellenlänge im Bereich λOvon 100 µm bis 1000 µm gemessene Welligkeit eine Flächenrauheit Sa von mehr als 5 nm aufweist.