Verfahren und Vorrichtung zur Analyse fester Materialien mit der Laser-Emissionsspektrometrie

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Analyse eines mit einer Oberflaechenschicht ausgestatteten Festkoerpers mit der Laser-Emissionsspektrometrie, bei dem in einer ersten Phase ein gepulster Laserstrahl (2, 2', 2''), die mit einer Optik (1) auf den Festkoerper (4) fokussiert wird, die Oberflaechenschicht (10) zumindest teilweise entfernt, und bei dem in einer zweiten Phase das freigelegte Festkoerpermaterial mittels der Laser-Emissionsspektrometrie analysiert wird. Es wird vorgeschlagen, dass der Abstand ?s des Durchstosspunktes (6) der Laserstrahlachse (3) durch die Probenoberflaeche vom Schnittpunkt (S) der Fokusebene (7) mit der Laserstrahlachse (3) waehrend des Schichtabtrags sukzessive verkleinert wird und dass hierzu Mittel (15) zum Verstellen des Abstands ?s des Durchstosspunktes (6) der Laserstrahlachse (3) durch die Festkoerperoberflaeche vom Schnittpunkt (S) der Fokusebene (7) mit der Laserstrahlachse (3) vorgesehen sind.

DE 10361727 B UPAB: 20050805 NOVELTY - The method involves at least partly removing the surface coating (10) in a first phase with a pulsed laser beam (2,2',2'') focused onto the body (4) by an optical arrangement and analyzing the exposed body material in a second phase by laser emission spectrometry. The distance of the point of penetration of the laser beam axis through the body surface from the intercept point of the focal plane with the laser beam axis is successively reduced during coating removal. DETAILED DESCRIPTION - AN INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for analyzing solid materials with laser emission spectrometry. USE - For analyzing solid materials with a surface coating with laser emission spectrometry. ADVANTAGE - Increased accuracy and precision.