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Patent
Title
VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHEN
Inventor(s)
Lukacs, E.
Makai, J.
Riesz, F.
Szentpali, B.
Pfitzner, L.
Patent Number
2001-4057
Publication Date
2006
Language
German