Patent
Title

VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHEN

Inventor(s)
Lukacs, E.
Makai, J.
Riesz, F.
Szentpali, B.
Pfitzner, L.
Link to:
Patent Number
2001-4057
Publication Date
2006
Language
German