Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Systems mit einer an einer vorbestimmten Stelle einer Oberflaeche eines Substrats aufgebrachten Komponente

Ein Verfahren zum Herstellen eines Systems mit einem Substrat mit einer Oberflaeche und einer an einer vorbestimmten Stelle der Oberflaeche des Substrats aufgebrachten Komponente umfasst einen Schritt des Erzeugens eines Fluessigkeitsvolumens, das die Komponente enthaelt, und einen Schritt des Aufbringens des Fluessigkeitsvolumens, das die Komponente enthaelt, auf die Oberflaeche des Substrats. Dabei ist das Fluessigkeitsvolumen so dimensioniert, dass es nach dem Aufbringen nur einen Teilbereich der Oberflaeche des Substrats benetzt. Bei dem Schritt des Aufbringens wird das Fluessigkeitsvolumen so auf der Oberflaeche des Substrats plaziert, dass der Teilbereich der Oberflaeche die vorbestimmte Stelle umfasst. Die Kommponente oder die vorbestimmte Stelle der Oberflaeche des Substrats ist so ausgebildet, dass nach dem Aufbringen des Fluessigkeitsvolumens eine Kraft auf die Komponente wirkt, die ausreichend ist, um die Komponente innerhalb des Fluessigkeitsvolumens zu der vorbestimmten Stelle zu treiben. Das Verfahren ist von der Geschwindigkeit eines Greifers und von dessen Faehigkeit, eine sehr kleine Komponente zu greifen und auszurichten, voellig unabhaengig.

DE 10325559 B UPAB: 20041223 NOVELTY - A production of a system involves producing a liquid volume (16) containing a component (18) and applying the liquid volume containing the component onto the surface (12) of a substrate (10). The liquid volume is placed on the surface of the substrate so that it wets a predetermined region of the surface. The component or the predetermined region is formed so that a force is applied after applying the liquid volume to carry the component within the liquid volume to the predetermined region. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for carrying out the process. USE - Used in the production of microelectronic or micromechanical devices. ADVANTAGE - The process is quick and simple.