Messsystem und Verfahren zur Erfassung geometrischer Groessen

Es wird ein Messsystem zur Erfassung geometrischer Groessen eines Objektes, mit einer Kombination von mindestens zwei von mehreren optischen Messvorrichtungen vorgeschlagen. Die erste Messvorrichtung ist eine Messvorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes mit einer flaechenhaft strukturierten Beleuchtung fuer das Objekt und einer ersten Bildaufnahmevorrichtung (6) zur Erfassung des beleuchteten Objektes (2). Als zweite Messvorrichtung wird eine Messvorrichtung zur zweidimensionalen Vermessung des Objektes mit einer Bildaufnahmevorrichtung zur perspektivfreien Abbildung von Konturen des Objektes verwendet und eine dritte Messvorrichtung ist eine Messvorrichtung zur punktfoermigen Abstandsmessung mit einer Strahlungsquelle zum Bestrahlen eines Objektpunktes und einem Empfaenger zur Erfassung der reflektierten Strahlung. Ein Bewegungssystem bewegt die Bildaufnahmevorrichtungen und/oder die flaechenhaft strukturierte Beleuchtung und/oder die Strahlungsquelle und den Empfaenger und/oder das Objekt, wobei eine Steuervorrichtung zum Ansteuern des Bewegungssystems und eine Auswerteeinrichtung zum Bestimmen der geometrischen Groessen aus den von den Messvorrichtungen gelieferten Messergebnissen vorgesehen sind. Die Steuervorrichtung steuert dabei abhaengig von den von einer der mindestens zwei optischen Messvorrichtungen gelieferten Messergebnisse das Bewegungssystem zur Ausrichtung des Objektes relativ zur anderen der mindestens zwei optischen Messvorrichtungen.

DE 10233372 A UPAB: 20040310 NOVELTY - Metrology system has a combination of at least two optical measurement devices. The system comprises a first measurement device for 3D measurement of the object using planar object (2) illumination and a first image capture device (6). A second measurement device is suitable for measurement of 2D profiles of the object and a possible third device is suitable for point measurements on the object surface. Measurement devices and object are moved relative to each other by a control device, which uses the measurements of one device to control movement of the other or others. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is made for 3D object measurement method in which at least 3D and 2D object measurements are implemented and the first set of measurements then used to determine correction parameters for implementation of the second measurement method. USE - 3D object measurement method and metrology system. ADVANTAGE - The invention permits measurement of widely varying objects with the most widely varying geometrical dimensions.