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Fraunhofer-Gesellschaft
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Title

Verfahren zur Herstellung von Siliziummembranen

Date Issued
1989
Author(s)
Betz, H.
Chlebek, J.
Huber, H.L.
Patent No
1987-3707130
Abstract
Bei einem Verfahren zur Herstellung von Silizium-Roentgenmasken wird eine Siliziummembran beidseitig mit einer Siliziumnitridschicht geeigneter Staerke bedeckt und die Definition von Bereichen, in denen optische Transparenz erhalten werden soll, mit Hilfe einer geeigneten Phototechnik durchgefuehrt.
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=3707130A
Patenprio
DE 1987-3707130 A: 19870303
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