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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren zur Herstellung von Siliziummembranen

Other Title
Process for the manufacture of silicon diaphragms
Abstract
Bei einem Verfahren zur Herstellung von Silizium-Roentgenmasken wird eine Siliziummembran beidseitig mit einer Siliziumnitridschicht geeigneter Staerke bedeckt und die Definition von Bereichen, in denen optische Transparenz erhalten werden soll, mit Hilfe einer geeigneten Phototechnik durchgefuehrt.
Inventor(s)
Betz, H.
Chlebek, J.
Huber, H.L.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=3707130A
Patent Number
1987-3707130
Publication Date
1989
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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