Verfahren zur 3-D-Shear-Bildauswertung

Verfahren zur 3-D-Shear-Bildauswertung, bei dem polarisiertes Beleuchtungslicht durch mindestens ein Shear-Betrag-erzeugendes Element (Nomarski-Prisma 4) in zwei Wellenfronten aufgeteilt wird, dann die Wellenfronten durch ein abbildendes optisches Element so gefuehrt werden, dass Beleuchtungslicht auf die Probe 7 trifft, von dort reflektiert wird, das abbildende optische Element und das Shear-Betrag-erzeugende Element durchlaufen wird und dabei die beiden reflektierten Wellenfronten ueberlagert werden und durch einen Analysator (2) zur Interferenz gebracht werden, dadurch gekennzeichnet, dass durch Drehung der Shear-Richtung bezueglich der Oberflaeche der Probe 7 um die optische Achse 11 des Systems um mindestens einen Winkelbetrag <Phi> und Durchfuehrung je einer Messung in den unterschiedlichen Winkelstellungen Licht durch einen Empfaenger (Matrixempfaenger 1) registriert und mit Hilfe einer Bildauswerteeinheit (10) Messwerte als Bilder dargestellt werden.