Gasschleuse sowie Beschichtungsvorrichtung mit einer Gasschleuse

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Gasschleuse zur Trennung zweier Gasraeume, die es ermoeglicht, mit minimalem raeumlichem Aufwand die Trennung von Gasen ohne Beruehrung mit dem Produkt/Edukt/Transport-System zu erreichen. Die erfindungsgemaesse Gasschleuse zeichnet sich dadurch aus, dass eine Messkammer zur Messung mindestens einer physikalischen und/oder chemischen Eigenschaft integriert ist. Ebenso betrifft die vorliegende Erfindung eine Beschichtungsvorrichtung, die eine erfindungsgemaesse Gasschleuse umfasst. Zudem werden Verwendungsmoeglichkeiten der erfindungsgemaessen Gasschleuse angegeben.

The invention relates to a gas lock for separating two gas chambers, said gas lock allowing gases to be separated using minimal space and without contacting the product/feedstock/transport system. The gas lock of the invention is characterized in that a measurement chamber for measuring at least one physical and/or chemical property is integrated. The invention further relates to a coating apparatus comprising a gas lock of the invention. Possible uses of the disclosed gas lock are also indicated.