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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Gasschleuse sowie Beschichtungsvorrichtung mit einer Gasschleuse
 
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Patent
Title

Gasschleuse sowie Beschichtungsvorrichtung mit einer Gasschleuse

Other Title
GAS LOCK, AND COATING APPARATUS COMPRISING A GAS LOCK
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Gasschleuse zur Trennung zweier Gasraeume, die es ermoeglicht, mit minimalem raeumlichem Aufwand die Trennung von Gasen ohne Beruehrung mit dem Produkt/Edukt/Transport-System zu erreichen. Die erfindungsgemaesse Gasschleuse zeichnet sich dadurch aus, dass eine Messkammer zur Messung mindestens einer physikalischen und/oder chemischen Eigenschaft integriert ist. Ebenso betrifft die vorliegende Erfindung eine Beschichtungsvorrichtung, die eine erfindungsgemaesse Gasschleuse umfasst. Zudem werden Verwendungsmoeglichkeiten der erfindungsgemaessen Gasschleuse angegeben.

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The invention relates to a gas lock for separating two gas chambers, said gas lock allowing gases to be separated using minimal space and without contacting the product/feedstock/transport system. The gas lock of the invention is characterized in that a measurement chamber for measuring at least one physical and/or chemical property is integrated. The invention further relates to a coating apparatus comprising a gas lock of the invention. Possible uses of the disclosed gas lock are also indicated.
Inventor(s)
Pocza, D.
Reber, S.
Arnold, M.
Schillinger, N.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=102010049861A
Patent Number
102010049861
Publication Date
2010
Language
German
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
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