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Patente
Verfahren zum Fertigen eines mikrofluidischen Elements
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Patent
Title
Verfahren zum Fertigen eines mikrofluidischen Elements
Inventor(s)
Richter, M.
Woias, P.
Aigner, M.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10015151A
Patent Number
2000-10015151
Publication Date
2002
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM