Keramische Drucksensoren und Verfahren zu ihrer Herstellung

(A1) Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Multilayerkeramik und betrifft keramische Drucksensoren, wie sie beispielsweise zur industriellen Prozesskontrolle zur Anwendung kommen können. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, keramische Drucksensoren anzugeben, die weitgehend mechanisch spannungsfrei gelagert sind und eine hohe Lebensdauer aufweisen, und deren Herstellung effektiver und kostengünstiger ist. Gelöst wird die Aufgabe durch keramische Drucksensoren, bestehend aus einem Träger aus Folien, wobei die Folie(n) mindestens einen Hohlraum ausbilden, der mit mindestens einer keramischen Druckmembranfolie abgedeckt ist oder in dem sich den Hohlraum abdeckend eine keramische Druckmembranfolie befindet, und wobei die Folie(n) mindestens eine Zuleitung zur Druckanbindung an den Hohlraum aufweisen und der Folienverbund gesintert ist. Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung, bei dem mindestens eine Folie zur Herstellung eines Hohlraumes strukturiert, mindestens eine Druckmembranfolie zur Abdeckung auf den Hohlraum positioniert und nachfolgend der Folienverbund gesintert wird.

DE 102006018049 A1 UPAB: 20071113 NOVELTY - The sensor has a carrier, which is formed from several ceramic foils (n), where the foils form a cavity, which is covered with a ceramic pressure membrane foil. The foils (n) have channel-like inlet pipes for pressure connection to the cavity. The cavity has an oval, square, triangular, rectangle or polygonal cross section. The membrane foil is made of high temperature cofired ceramics (HTCC), glass ceramics or low temperature cofired ceramics (LTCC). The cavity is materially and partially connected only with a surrounding substrate. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for manufacturing ceramic pressure sensors. USE - Used in a pneumatic or hydraulic system for industrial process control, in an inspection technique, in heating and air conditioning technology and in environmental technology. ADVANTAGE - The ceramic pressure sensor is manufactured in such a way that the sensor is extensively supported at zero-potential and has an increased life span, high temperature stability and is manufactured in an effective and economical way.