Vorrichtungen zur elektrischen Anregung eines Gases mit Mikrowellenenergie

Vorrichtung (10) zur elektrischen Anregung eines Gases mit Mikrowellen, mit einem von einem Mikrowellensender gespeisten Hohlleiter (11), der einen Mikrowellenenergie zum Zuenden und Aufrechterhalten einer Gasentladung auskoppelnden Schlitz (12) in einer Aussenwand (13) hat, und mit einem im Bereich des elektrischen Schlitzfeldes (14) dem Hohlleiter (11) parallel angeordneten, eine Gasentladungsstrecke (15) enthaltenden Entladungsgefaess (16). Um eine insbesondere in Laengsrichtung der Gasentladungsstrecke (15) moeglichst homogene Anregung zu erhalten, ist die Vorrichtung (10) so ausgebildet, dass der Schlitz (12) ein der Laengsachse des Hohlleiters (11) wenigstens im wesentlichen paralleler Laengsschlitz in einer radial aussen liegenden Wand (13) des Hohlleiters (11) ist, und dass sich das Entladungsgefaess (16) mit seiner Gasentladungsstrecke (15) ueber die gesamte Laenge dieses Laengsschlitzes (12) erstreckt.