Vorrichtung zum beruehrungslosen Erfassen der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflaechenauslenkung eines Prueflings

Eine Vorrichtung zum beruehrungslosen Erfassen der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflaechenauslenkung eines Prueflings verfuegt ueber einen Laser (1) zur Erzeugung eines Lichtflecks (6) auf der Oberflaeche (4) des Prueflings (5). Das vom Lichtfleck (6) reflektierte Licht speist einen Referenzarm (16) und einen Verzoegerungsarm (17) einer Interferometeranordnung (9), deren Ausgangslicht einen Photodetektor (15) beaufschlagt. Im Verzoegerungsarm (17) der Interferometeranordnung (9) ist eine frequenzverschiebende Zelle (20) angeordnet, mit deren Hilfe ein Traegersignal am Photodetektorausgang erzeugt wird, das infolge der Oberflaechenauslenkung des Pruefkoerpers (5) phasenmoduliert ist. In einer Demodulationsstufe (29) werden tieferfrequente Stoersignale der Phasenmodulation vom Nutzsignal der hoeherfrequenten Ultraschallwellen (8) getrennt.