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Patent
Title
Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung in Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm und optische Anordnung mit dem Spiegel
Other Title
Mirror for reflecting EUV radiation in the spectral range between 6 nm and 10 nm and optical arrangement comprising the mirror
Abstract
Es wird ein Spiegel (10) zur Reflexion von EUV-Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm beschrieben, der mindestens eine auf einem Substrat (1) angeordnete oxidationshemmende Schicht (2) umfasst, die ein Lanthanoxid, ein Ceriumoxid, ein Thoriumoxid, ein Uranoxid oder diamantartigen Kohlenstoff aufweist. Weiterhin wird eine optische Anordnung (100) beschrieben, die eine EUV-Strahlungsquelle (11) und mindestens einem derartigen Spiegel (10) aufweist.
Inventor(s)
Patent Number
102015122300
Publication Date
2017
Language
German