AlN-basierte Hartstoffschicht auf Körpern aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik und Verfahren zu deren Herstellung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das technische Gebiet der Werkstofftechnik und betrifft eine AlN-basierte Hartstoffschicht auf Körpern aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Bereitstellung einer AlN-Hartstoffschicht, die eine verbesserte Härte und Verschleißbeständigkeit aufweist und zeit- und kostengünstiges herstellbar ist.Erfindungsgemäß wird eine AlN-basierte Hartstoffschicht auf Körpern aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik bereitgestellt, die eine einzelne Schicht oder ein mehrlagiges Schichtsystem ist, wobei mindestens die eine Schicht oder mindestens eine Schicht des mehrlagigen Schichtsystem eine AlN-basierte Hartstoffschicht mit hexagonaler Gitterstruktur ist, die eine in <002> ausgebildete Textur aufweist, die sauerstoffdotiert ist, wobei die Sauerstoffdotierung im Bereich von 0,01 At.-% bis 15 At.-% vorliegt.Die h-AlN-basierte Hartstoffschicht kann als Verschleißschutzschicht für Schneidwerkzeuge, als Schutzschichten für Turbinenschaufeln oder als Diffusionsbarrieren in der Mikroelektronik eingesetzt werden.