Verfahren und Vorrichtung zum Entspiegeln eines optischen Elements

DE102014200742A1 [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entspiegeln einer Oberflaeche (1) eines optischen Elements (2), bei dem die Oberflaeche (1) mit einer reflexmindernden Oberflaechenstruktur versehen wird, wobei die Oberflaechenstruktur mittels mindestens eines Laserstrahls (5) erzeugt wird, der auf die Oberflaeche (1) gerichtet und ueber die Oberflaeche (1) gefuehrt wird. Die Erfindung betrifft ausserdem eine entsprechende Vorrichtung zum Entspiegeln einer Oberflaeche (1) eines optischen Elements (2) sowie ein in entsprechender Weise entspiegeltes optisches Element (2) und ein THz-System mit mindestens einem solchen optischen Element (2).