Laser-Interferometer zur Laengenmessung

Ein mit einer lichtstarken IR-Laserdiode betriebenes Interferometer zur Laengenmessung enthaelt einen kleinen Strahlteiler und ein daran anschliessendes 90Grad-Umlenkprisma, durch die ein einfallender Laserstrahl auf zwei parallelen Ebenen eingekoppelt wird. Die eine Ebene enthaelt ein Mess-Interferometer und die andere, darunter- oder daruebergelegene Ebene ein Regel-Interferometer. Das erstere enthaelt einen Strahlteiler, in dem ein 45Grad polarisierter einfallender Laserstrahl in einen Referenzstrahl und einen dazu rechtwinkligen Messstrahl aufgespalten wird sowie ein 90Grad-Prisma bzw. Tripelprisma, in denen die beiden Strahlen parallel verschoben reflektiert werden, worauf sie im Strahlteiler wieder vereint und dann in zwei um 180Grad phasenverschobene Signale aufgespalten werden. Anschliessend ist ein polarisierender Strahlteiler angeordnet, durch den diese Signale zum einen Teil direkt und zum anderen Teil ueber ein 90Grad-Prisma geleitet werden, wobei durch Aufspaltung in je ei nen waagerechten und senkrechten Anteil vier Signale mit jeweils um 90Grad fortschreitender Phasenverschiebung entstehen. Das Regel-Interferometer enthaelt ebenfalls einen Strahlteiler, in dem der gleiche Laserstrahl in einen Referenzstrahl und einen dazu rechtwinkligen Messstrahl aufgespalten wird sowie ein 90Grad-Prisma bzw. zwei Prismen, in denen die beiden Strahlen parallel verschoben reflektiert werden, worauf sie im Strahlteiler wieder vereint und dann in zwei um 180Grad verschobene Signale ...