Patent
Title

Verfahren zur Herstellung von bereichsweise unterschiedlich dicken Deckschichten auf Festkoerpern, vorzugsweise Silizium-Halbleiterkoerpern

Other Title
Process for the production of different thicknesses of top coat on solid bodies, in particular silicon semiconductor bodies
Inventor(s)
Fritzsche, C.
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Patent Number
1972-2250129
Publication Date
1976
Language
German