Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material eines Werkstücks mittels gepulster Laserstrahlung einer Intensität I, bei dem sich durch den Abtrag eine Abtragsvertiefung mit einer vordefinierten Breite an deren Grundfläche ausbildet. Die Intensität I unterschreitet nicht über die gesamte Zeitdauer des Abtragsvorgangs vor, zwischen und während der Pulse der Laserstrahlung eine materialspezifische untere Intensitätsschranke Ilow und überschreitet nicht eine obere Intensitätsschranke Ihigh, wobei die materialspezifische untere Intensitätsschranke Ilow und die obere Intensitätsschranke Ihigh für die Intensität I an einem unbearbeiteten Materialstück entsprechend dem Werkstück vorab ermittelt werden.