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Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen
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Patent
Title
Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen
Inventor(s)
Wagner, B.
Quenzer, H.J.
Link to:
Espacenet
Patent Number
1996-19604818
1996-101948
Publication Date
2006
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT