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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen des Bauelements. Das Bauelement weist mehrere, auf einer ersten Oberfläche (5) des Substrats (1) oder auf einer ersten Oberfläche (5) einer auf dem Substrat (1) aufgebrachten zweiten Elektrodenschicht (10) ausgebildete Gräben (4), eine auf der zweiten Elektrodenschicht (10) und den mehreren Gräben (4) aufgebrachte aktive piezoelektrische Schicht (2) und eine auf die aktive piezoelektrische Schicht (2) aufgebrachte erste Elektrodenschicht (3) auf. Die mehreren Gräben (4) sind in einer piezoelektrisch aktiven Richtung ausgebildet.
Inventor(s)
Kirbach, Sven
Weinreich, Wenke  
Mart, Clemens
Zybell, Sabine
Haufe, Nora  
Link to:
Espacenet
Patent Number
102018213735
Publication Date
2020
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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