Mikromechanischer Beschleunigungssensor mit kapazitiver Signalwandlung

Mikromechanische Beschleunigungssensoren eignen sich fuer viele Anwendungen, z. B. im Luftverkehr, in der Raumfahrt, der Robotik und im Strassenverkehr. Fuer die Herstellung in grossen Stueckzahlen soll der Sensor moeglichst einfach aufgebaut sein. Beschrieben wird ein Beschleunigungssensor mit einem Torsionskoerper und einer Differentialkondensatoranordnung, der aus nur zwei Elementen zusammengefuegt ist. Auf ein sonst uebliches drittes Element kann verzichtet werden, da die Kondensatoren der Differentialkondensatoranordnung in einer Ebene angeordnet sind. Dies wird dadurch erreicht, dass die beweglichen Elektroden so auf einer Flaeche des Torsionskoerpers angebracht sind, dass sich bei Beschleunigung die Kapazitaet eines Kondensators erhoeht, waehrend die des anderen kleiner wird. Der Beschleunigungssensor ist mit den Methoden der Mikrostrukturtechnik einfach herstellbar.