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Patente
Verfahren zur Messung und Überprüfung der elektrischen Stromverteilung in hochintegrierten Bauteilen
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Patent
Title
Verfahren zur Messung und Überprüfung der elektrischen Stromverteilung in hochintegrierten Bauteilen
Inventor(s)
Hoffmann, Hans-Dieter
Dubbins, F.
Krause, V.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19526983A
Patent Number
1995-19526983
Publication Date
2000
Language
German
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
