Verfahren zur Herstellung strukturierter optischer Komponenten

Das erfindungsgemässe Verfahren dient der Herstellung optischer Komponenten, insbesondere Deckeln zur Verkapselung von Mikro-Systemen, wobei auf einem ersten Substrat Verstärkungselemente, die vor dem Verbinden hergestellt werden, aufgebracht werden, wodurch ein Stapel erzeugt wird. Dieser Stapel wird nach Verbindung mit einem zweiten Substrat erwärmt, wodurch das erste Substrat derart verformt wird, dass sich mindestens ein durch die Verstärkungselemente abgedeckter Bereich des ersten Substrats verschiebt und/oder neigt.

The method according to the invention is used for producing optical components, in particular covers for encapsulating micro-systems, wherein at least one reinforcing element, which is produced before being arranged, is arranged on a first substrate, as a result of which a stack is produced. This stack is heated after being connected to a second substrate, as a result of which the first substrate is deformed such that at least one region, covered by the reinforcing element, of the first substrate is moved and/or is inclined or the first substrate is brought into contact with the reinforcing element. In an alternative method according to the invention, the reinforcing element is arranged on the second substrate, wherein this stack is then connected to the first substrate. The first substrate is subsequently heated and deformed such that a region of the first substrate is brought into contact with the reinforcing element.