Vorrichtung zum Kuehlen optoelektronischer Bauelemente und Verwendung einer dafuer benutzten Flanschverbindung

Bei einer Vorrichtung zum Kuehlen optoelektronischer Bauelemente (1) mit einem auf einer Grundplatte befestigten evakuierten Kuehlergehaeuse, in dem wenigstens eine mit der Kaltstation einer Kuehlmaschine ueber wenigstens ein flexibles Metallband (19) thermisch gekoppelte Halteeinrichtung fuer die Bauelemente (1) und wenigstens ein Fenster vorgesehen sind, ist das Gehaeuse der Kuehlmaschine zur Vibrationsentkopplung ueber einen flexiblen Schlauch mit dem Kuehlergehaeuse gegen den Atmosphaerendruck abgedichtet verbunden. Die wenigstens eine mit einem flexiblen Metallband (19) thermisch an eine in das Kuehlergehaeuse hineinragende Kaltstation der Kaeltemaschine gekoppelte Halteeinrichtung (8) verfuegt ueber eine Halteplatte (17), die an einem Ende eines duennwandigen im wesentlichen prismatischen oder zylindrischen Hohlkoerpers aus einem Waerme schlecht leitenden Material, insbesondere Epoxidharzplatten (9, 10, 11, 12) angeordnet ist. Das der Halteplatte (17) gegenueberliegende Ende der Epoxidharzplatten (9, 10, 11, 12) ist auf der Grundplatte des Kuehlergehaeuses ueber eine metallische Bodenplatte (13) starr befestigt.