Quantenkaskadenlaser und Verfahren zu seiner Herstellung

Die Erfindung betrifft einen Quantenkaskadenlaser (1) mit einem Substrat (10) mit einer ersten Seite (101) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (102) und mit einem aktiven Bereich (2) mit einer ersten Seite (201) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (202), wobei die zweite Seite (202) des aktiven Bereichs (2) auf der ersten Seite (101) des Substrats (10) angeordnet ist und der aktive Bereich (2) Seitenflächen (205) aufweist, welche sich von der ersten Seite (201) des aktiven Bereichs (2) zur zweiten Seite (202) des aktiven Bereichs (2) erstrecken und mit zumindest einer Isolatorschicht (40) mit einer ersten Seite (401) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (402), wobei die zweite Seite (402) der Isolatorschicht (40) auf der ersten Seite (101) des Substrats (10) angeordnet ist und sich die Isolatorschicht (40) bis zu den Seitenflächen (205) des aktiven Bereichs (2) erstreckt und dicker ist als der aktive Bereich (2) und die erste Seite (201) des aktiven Bereichs (2) nicht bedeckt, wobei in die erste Seite (101) des Substrats (10) angrenzend an die zweite Seite (202) des aktiven Bereichs (2) eine Stufe (15) eingebracht ist, wobei die Seitenfläche (155) der Stufe (15) mit der ersten Seite (101) des Substrats (10) einen Winkel von 85° bis 95° einschließt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Quantenkaskadenlasers.