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Title
Herstellung dünner Schichten
Title Supplement
Materialien, Beschichtungsprozesse, Substrate. Erstes Fachforum ; 23./24. Juni 2003, Würzburg
Corporate Author
Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg
Publisher
Publishing Place
Regensburg
Publication Date
2003