Title

MikroSystemTechnik KONGRESS 2007

Title Supplement

15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2007

ISBN

3-8007-3061-8

978-3-8007-3061-2

Conference