Title

Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik - Grundlagen und Anwendung

Title Supplement

Workshop am 25. November 2009 in Dresden

Corporate Author

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-

Silicon Saxony e.V.

Forschungszentrum Dresden-Rossendorf -FZR-

Publishing Place

Dresden

Publication Date

2009

Conference