Title

Mikro-Nano-Integration. CD-ROM

Title Supplement

Beiträge des 4. GMM-Workshops; 12.-13. November 2012 in Berlin

Editor(s)

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2012

Series

GMM-Fachbericht; 74

ISBN

978-3-8007-3473-3

Conference