Title

MikroSystemTechnik Kongress 2019

Title Supplement

Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2019

ISBN

978-3-8007-5090-0

978-3-8007-5129-7

Conference