Title

Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik
Titel Supplements
10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 20./21. Oktober 2010
Institut
TU Chemnitz
Verlag
Verlagsort
Chemnitz
Datum
2010
ISBN
978-3-00-032052-1
Konferenz