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Title
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik
Title Supplement
5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Corporate Author
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Publisher
Publishing Place
Chemnitz
Publication Date
2001
ISBN
3-00-008201-8